据媒体报道，上海微电子装备(集团)股份有限公司披露，将在2021-2022年交付第一台28nm工艺的国产的沉浸式光刻机。
虽然这与当今国际顶尖的7nm乃至是5nm光刻机还有数代的隔阂，但是差距已经大大缩小，毕竟在此之前国产光刻机还是90nm。
据悉，上海微电子是国内技术最领先的光刻设备厂商，从低端切入各个细分市场，现已成为封测龙头企业的重要供应商，国内市场占有率高达80%，全球市场占有率也有40%，同时旗下LED/MEMS/功率器件光刻机性能指标领先，LED光刻机市占率第一。
上海微电子现有4大系列的光刻机产品，其中600系列步进扫描投影光刻机面向IC前道制造，采用四倍缩小倍率的投影物镜、工艺自适应调焦调平技术，以及高速高精的自减振六自由度工件台掩模台技术，可用于90nm、110nm、280nm工艺和200mm、300mm晶圆生产。
500系列面向IC后道先进封装，300系列面向LED、MEMS、功率器件制造，200系列面向TFT曝光。
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评论列表（21条）
支持！国产加油！
作为中国只要有自主的知识产权的产品就好 芯片做大点 能接受 够用就好
荷兰的光刻机也是集成了多国的技术才造出来的，中国能突破技术到这一步已经很强了，争取早日不被卡脖子吧
突破卡脖子
什么时候能碾压荷兰，急！
什么时候7nm，很急
不慌 还有14纳米，然后才 7纳米5纳米
厉害了，我的国，中国牛逼，这下华为有救了，奥利给！！！（手动狗头）
太棒了！加油！
还有希望我们中国人都能团结合作起来，包括手机厂商等。
奥利给！
加油我的国
中国加油，
开心^_^
还有十年差距，我们还要再等十年
一、没有一家正规媒体发布此消息。
二、柳传志该杀！
额..非要媒体发布么..上海微电子官网.有详细的型号和参数...另外媒体说马斯克要给火星移民.
唉。。。要不是因为那个人我们二十年前就应该能造出来了
谁啊
加油！
泪目
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